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2路質量流量計500w等離子清洗機，2路質量流量計500w等離子清洗機
等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質:處于高速運動狀態的電子;處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性
2路質量流量計500w等離子清洗機
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供電電源 |
AC220V（AC110V可選) |
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工作電流 |
整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射頻電源功率 |
500W可調 |
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射頻頻率 |
40kHz |
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耦合方式 |
電容耦合 |
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真空度 |
≤30Pa |
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腔體容積 |
5L(內徑 152mmX 深度 280mm) |
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載物規格 |
125mmX260mm |
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氣體流量 |
0—50ml/min（其他量程可選） |
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氣體路數 |
2 路質量流量計+精密流量控制閥 |
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過程控制 |
自動控制 |
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清洗時間 |
手動開關 |
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開蓋方式 |
鉸鏈側開式法蘭 |
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真空室溫度 |
小于65°C |
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外形尺寸 |
450 |
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冷卻方式 |
強制風冷 |
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標配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本，機械泵一臺 |
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