測量范圍

 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)；  
   方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)； 
   電導率：10-5～105 s/cm； 
   電阻：10-5～105 Ω； 

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
   200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
   400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
   分辨力：10μV；
   輸入阻抗：>1000MΩ；
   精度：±0.1% ；
   顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

 間距：1±0.01mm；
   針間緣電阻：≥1000MΩ； 
   機械游移率：≤0.3%；
   探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
   探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
  ( 按JJG508-87進行)

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量zui大相對誤差

(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度

 ≤5%

測試模式

 可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）

軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，

也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口

 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5    秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。

標準使用環(huán)境

 溫度：23±2℃；
   相對濕度：≤65%；
   無高頻干擾；
   無強光直射；