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手持式四探針測試儀適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校
發布時間:2017-08-03瀏覽次數:1657返回列表
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測量范圍
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電阻率:0.01~1999.9Ω.cm; 方塊電阻:0.1~19999Ω/□; |
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恒流源
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電流量程分為100μA、1mA兩檔,兩檔電流連續可調 |
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數字電壓表
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量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%; 顯示:以大屏幕LCD顯示讀數,直觀清晰;性、超量程自動顯示; |
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四探針探頭基本指標
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間距:1±0.01mm; 針間緣電阻:≥1000MΩ; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
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四探針探頭應用參數
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(見探頭附帶的合格證) |
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模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) |
1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整機測量大相對誤差
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(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
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整機測量標準不確定度
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≤5% |
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外型尺寸
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185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高) |
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重量
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350g |
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電源
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鋰電池,一次充電可連續使用100小時; |
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標準使用環境
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溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無高頻干擾; 無強光直射 |







