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| 是否提供加工定制 | 否 | 類型 | 電參數測量儀 |
| 品牌 | 羲和 | 型號 | 進口 |
自動41點測厚儀
產品型號:進口
自動41點測厚儀是硅片幾何測量的小型臺式儀器。該指數是基于兩個厚鋼板相反對方展開,每個板塊包含了一套非接觸式電容式傳感器,可測硅片厚度、TTV、彎曲度、翹曲度等。
功能特點
非接觸操作
分辨率可達0.1微米
數學模擬真空吸盤
每片晶圓的zui大測量時間:5秒
全自動測量,無需任何操作
可連接電腦,提供數據評估軟件
提供快速、簡單的重新校準操作
軟件界面
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