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自動橢圓偏振測厚儀
發布時間：2020-12-25瀏覽次數：1411返回列表
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩定波長精度高。 儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊，，具有多樣數據采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。 ，指標： 測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm;折射率范圍：1-10 測量，示值：≤1nm 入 射 角：20°- 90°精度≤0.05° 偏振器方位角范圍：0°- 180° 度盤刻度：每格1度 偏振器步進角：0.014°/步 儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時） 測量膜厚和折射率重復性精度分別為：0.5nm和0.005 光學中心高度：80mm 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm 外形尺寸：680*390*310mm 主機重量：26kg 儀器成套性： 主機、電控系統、USB接口、配套軟件（需配計算機）
