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價格：電議
所在地：安徽 合肥市
型號：BZD-300
更新時間：2021-06-22
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公司地址：安徽省合肥市高新區科學大道110號
謝女士(女士)
一、系統功能及構成
1. 該系統為多源蒸發鍍膜系統， 系統可用于開發納米級的單層及多層功能膜和復合膜。系統主要由鍍膜室、金屬蒸發源(2套獨立，配電源)、旋轉樣品臺、分子泵組、真空測量系統、膜厚儀、氣路系統、電控系統等組成。
2. 鍍膜極限真空度：≤10-5 Pa (經烘烤除氣后);
真空獲得采用分子泵(1200L/S)和機械泵(8L/S)+CF200主閥組成，此配置具有抽速快，可獲得高真空環境，提供薄膜的潔凈度。
真空泵組前配有冷凝過濾井，放置蒸發材料污染真空系統。
系統真空檢漏漏率：≤5.0
系統從大氣開始抽氣：濺射室30分鐘可達到5x10-4 Pa;
系統停泵關機1小時后真空度：≤5Pa
3. 鍍膜室中配有2組熱蒸發源，、分布在一個圓周上(下底蓋位置均勻分布)，各源可獨立/順次工作，配個圓形旋轉擋板，擋板缺口移到哪個工位，哪個工位材料可以蒸發。
4. 樣品臺布置在真空室上部，可放置最大6英寸樣品1片，樣品具有連續旋轉功能，旋轉0—30轉/分連續可調。
5. 真空測量采用進口INFICON 全量程規進行測量。
6. 系統配有二路國產口MFC控制進氣系統，流量分別為100SCCM、50SCCM。
7. 系統配有1個INFICON膜厚儀。
二、系統的主要組成及技術指標
濺射室極限真空度：≤10-6Pa(經烘烤除氣后);
系統真空檢漏漏率：≤5.0
系統從大氣開始抽氣：濺射室35分鐘可達到5x10-4 Pa;
1、濺射真空室
真空室為方形前開門結構，尺寸350mmx400mmx350mm(寬X高X深)全不銹鋼結構。可內烘烤到100～150℃，選用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進行電化學拋光國內首家鈍化處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封;手動前開門結構;蒸發源安裝在下蓋板，基片轉臺在頂部，左側面設置有光纖旋轉裝置。
2、鍍膜源
2套蒸發源;
3、旋轉轉基片臺
3.1 基片尺寸和數量：6英寸樣品一次放置1片。
3.2、基片公轉由調速電機驅動，0—30轉/分連續可調，轉動速度
4、工作氣路
4.1、100SCCM、50SCCM質量流量控制器(國產)、DN6電動截止閥、管路、接頭等：共2路
5、抽氣機組及閥門、管道
5.1、分子泵;
5.2、機械泵：;
5.3、DN40電動截止閥：1臺;
5.4、機械泵與真空室之間的旁抽管路：1套;
5.5、CC200氣動閘板閥：1臺;
5.6、DN40旁抽角閥：1臺
5.7、配備一套低溫冷阱及壓縮機組件
6、安裝機臺架組件
優質方鋼型材焊接成，快卸圍板表面噴塑處理;機臺表面用不銹鋼蒙皮裝飾;四只腳輪，可固定，可移動。
7、真空測量
濺射室采用進口INFICON 復合規進行測量。
8、系統采用PLC+觸摸屏半自動控制方式
免責聲明：以上所展示的[BZD-300 多源蒸發鍍膜系統]信息由會員[安徽貝意克設備技術有限公司]自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責。
