RTP-1200C-200-SL 單工位大口徑快速退火爐

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

會(huì)員指數(shù)：

企業(yè)認(rèn)證：

價(jià)格：電議

所在地：安徽合肥市

型號(hào)：RTP-1200C-200-SL

更新時(shí)間：2021-06-22

瀏覽次數(shù)：1044

公司地址：安徽省合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號(hào)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該款設(shè)備是由單端封口小型紅外滑軌爐、電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成

公司簡(jiǎn)介

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司是一家專注于新材料、新能源、高端裝備設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)與一體的高新技術(shù)企業(yè)，合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專家顧問(wèn)，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司擁有400平米的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，部分實(shí)驗(yàn)室對(duì)外開(kāi)放。公司擁有31項(xiàng)，其中發(fā)明6項(xiàng)、實(shí)用新型23項(xiàng)、外觀2項(xiàng)。涉及領(lǐng)域包括，石墨烯、碳納米管、高溫?zé)晒夥邸LED有機(jī)小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。公司產(chǎn)品有智能高低溫CVD系統(tǒng)、PECVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐、高低溫箱式爐、等離子清洗設(shè)備、RF濺射設(shè)備、各種壓力的手動(dòng)自動(dòng)壓片機(jī)、各種功能尺寸的手套箱、球磨機(jī)、氧化鋯齒科燒結(jié)爐等。

展開(kāi)

產(chǎn)品說(shuō)明

結(jié)構(gòu)與原理：

設(shè)備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。

1、單端封口小型紅外滑軌爐：

該加熱系統(tǒng)采用國(guó)際先進(jìn)制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分離，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，氣動(dòng)彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開(kāi)，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的最低損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱，采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實(shí)時(shí)顯示石英腔體內(nèi)部溫度，加熱區(qū)長(zhǎng)度為370mm，恒溫區(qū)長(zhǎng)度200mm，確保兩個(gè)φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi)，為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場(chǎng)均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個(gè)石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過(guò)程可在通入一定量保護(hù)氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達(dá)到2℃/s，試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成工藝的同時(shí)大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場(chǎng)均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。

2、電機(jī)調(diào)速裝置：

伺服電機(jī)調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，達(dá)到控制爐管部分的整體移動(dòng)速度（含樣件），以此調(diào)整快速升降溫的目標(biāo)速率，電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度實(shí)時(shí)顯示并且精確可控，以獲得精確的移動(dòng)速度，滿足降溫時(shí)工藝參數(shù)要求。

3、主要參數(shù)

加熱系統(tǒng)
供電電源	220V，50Hz
額定功率	10KW
石英管尺寸	Φ210*370mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
加熱原件	電阻絲
控溫精度	±5℃
熱電偶類型	K型熱電偶（內(nèi)插）
控制方式	該系統(tǒng)人機(jī)界面+PLC控制，10寸液晶屏顯，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度等信息。
氣路系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)	1000sccm（可根據(jù)用戶要求定制）
準(zhǔn)確度	±1.5%
線性	±0.5～1.5%
重復(fù)精度	±0.2%
響應(yīng)時(shí)間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
最大壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
真空系統(tǒng)
機(jī)械泵	抽氣速率：4L/S 容油量：1.1L 電機(jī)功率：400W~ 極限壓強(qiáng)：6×10^-2Pa
分子泵	抽氣速率：100L/S Pa 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min 額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)看，水冷。
分子泵控制器	電壓：220V±22V 啟動(dòng)電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ 最大輸出功率：≤150W 最大加速電壓：≤40V 加速時(shí)間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ
復(fù)合真空計(jì)	測(cè)量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路）工作模式：手動(dòng)/自動(dòng) 電阻單元參數(shù) 規(guī)管型號(hào)：ZJ-52T電阻規(guī) 測(cè)量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa 有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa 控制范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa 電離單元參數(shù) 規(guī)管型號(hào)：ZJ-27電離規(guī) 可測(cè)范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa 規(guī)管除氣方式：焦耳去氣其他參數(shù) 控制路數(shù)：4路控制方式：點(diǎn)動(dòng)或區(qū)域控制/帶掉電記憶控制精度：±1% 采樣時(shí)間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環(huán)境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85%
連接管路	采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10^-9Pa.m³/s

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