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價(jià)格：電議
所在地：全國(guó)
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更新時(shí)間：2011-12-27
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多通道石英晶體監(jiān)測(cè)儀
在大型系統(tǒng)中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數(shù)據(jù)通過平均值，以達(dá)到更精確的沉積控制；也可以設(shè)定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長(zhǎng)傳感器的使用壽命，速率采集 模式允許探頭帶一個(gè)檔板。用戶可以自己選擇0.1埃/s 還是0.01埃/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號(hào)時(shí)間、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號(hào)等。
數(shù)字輸入可以通過外部信號(hào)來對(duì)讀數(shù)進(jìn)行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監(jiān)測(cè)儀采用了RS-232接口和Windows?窗口軟件，可以通過電腦上進(jìn)行調(diào)試安裝。軟件可以用來設(shè)置和存儲(chǔ)所有參數(shù)，包括儀器操作和保留程序數(shù)據(jù)到特定的Excel?文檔。同時(shí)，USB或以太網(wǎng)選項(xiàng)也添加通信協(xié)議中，以zui大程度方便不同用戶。
便于使用
開啟速率和膜厚測(cè)量，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數(shù)，然后關(guān)閉，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時(shí)顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監(jiān)測(cè)儀一定距離也仍然清晰可見。當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚或者鍍膜時(shí)間到了，檔板就會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，同時(shí)前面板報(bào)警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時(shí)間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對(duì)監(jiān)測(cè)儀的99個(gè)存儲(chǔ)膜系進(jìn)行設(shè)置。首先，選“program”鍵，進(jìn)入菜單，然后，旋轉(zhuǎn)撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了。主顯示界面顯示菜單提示，而設(shè)定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到。
高精度，低成本
標(biāo)準(zhǔn)型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個(gè)讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴(yán)格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個(gè)讀數(shù)/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點(diǎn)是在整個(gè)工作范圍內(nèi)，溫度穩(wěn)定性可以達(dá)到2ppm。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了卓越的性價(jià)比。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■ 雙通道(標(biāo)準(zhǔn)型)，四通道可選
■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出
■ 高精度: 0.03Hz at 10個(gè)讀數(shù)/s
■ RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選
免責(zé)聲明：以上所展示的[ SQM-160 膜厚監(jiān)測(cè)儀]信息由會(huì)員[]自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會(huì)員負(fù)責(zé)。
