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產(chǎn)品簡介

雙爐膛滑軌式PECVD組成部分為500W的射頻發(fā)生器、可定位的獨(dú)立滑動式燒結(jié)爐、高精度質(zhì)量流量混合系統(tǒng)、穩(wěn)定防反油真空系統(tǒng)，此款PECVD可用于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜。

公司簡介

河南諾巴迪材料科技有限公司是集研究?開發(fā)?制造?經(jīng)營為一體的科技創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布亞歐美，覆蓋國內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室，成為受客戶歡迎和信任的品牌之一。

展開

產(chǎn)品說明

雙爐膛滑軌式PECVD主要特點(diǎn)：

1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；
2. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣；
3. 產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示；
4. 可通過爐體滑動來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果；
5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量。
雙爐膛滑軌式PECVD配置參數(shù)：

產(chǎn)品型號	NBD-PECVD1200-50T2-N
電氣規(guī)格	AC220V 3KW 射頻功率：300或500瓦 13.56Mhz
可達(dá)溫度	1200 ℃ （<1小時）
連續(xù)溫度	1100 ℃ （連續(xù)）
可達(dá)加熱速率	≤20 ℃/分鐘
加熱區(qū)長度	200mm+200mm（兩個加熱溫區(qū)分別加熱，分體式設(shè)計(jì)使溫度梯度可以達(dá)到極限）
爐管尺寸	Φ50*1800mm

雙爐膛滑軌式PECVD服務(wù)支持：一年有限保修，提供終身支持。

本頁產(chǎn)品地址：http://m.521uz.com/sell/show-9570914.html

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