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價格：電議
所在地：天津
型號：吉兆源
更新時間：2024-09-23
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公司地址：天津市濱海新區濱海科技園日新道196號 研發樓D2一層
王麗(女士)
是一種用于產生等離子體的裝置，通常被用于在真空環境中進行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝，以及半導體刻蝕和薄膜設備的預處理反應和清洗等。與傳統等離子體源不同的是，RPS通常不直接接觸要處理的表面，而是在一定距離之外產生等離子體，并將等離子體輸送到目標表面，因此被稱為“遠程等離子體源RPS”。
遠程等離子體源RPS應用特征
遠程等離子體源RPS采用新的固態微波源技術【非磁控管微波源】。具有很高的頻率、功率穩定性，使用壽命長。
自主開發的微波匹配器，能實現在不同氣體條件下，快速進行微波源與等離子體的阻抗匹配。
等離子體發生器材質可選，適用于多種氣體。
遠程等離子體源RPS產品體積小、集成度高、便于更換。低顆粒污染;
獨特的等離子反應腔設計，適用于多種氣體的電離與阻抗匹配。
系統運行時，氣體壓力適應范圍寬。氣體電離率高、電離速度快。
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