SA-6/SA-8/SA-12 量產型半自動/全自動探針臺

深圳市森美協爾科技有限公司

會員指數：

企業認證：

價格：電議

所在地：廣東

型號：SA-6/SA-8/SA-12

更新時間：2023-03-30

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公司地址：深圳市寶安區西鄉恒豐工業城C1棟3樓

18820253316 向先生(先生) 經理

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產品簡介

超高的測試精度和超快測試速度，自動alignment/找晶圓中心/測量diesize支持單點測試和連續測試，功能豐富的測試軟件便捷的儀器接入，升級自動wafer厚度測量和ID讀卡

公司簡介

深圳市森美協爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導體技術的共享事業，專注于促進中國半導體行業的快速成長，目標成為半導體行業領先的total solution供應商。目前設有半導體儀器營銷事業部和半導體設備制造工廠。

SEMISHARE半導體儀器營銷事業部代理的設備包括半導體檢測設備：SEMISHARE品牌探針臺和激光修復儀，I-V/C-V參數測試儀，網絡分析儀，激光系統，金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡，X射線，C-SAM超聲波探測，電子顯微鏡。晶圓工藝設備：晶圓鍵合，去膠，沉積，等離子刻蝕，擴散,氧化爐，勻膠機，光刻機，磁控濺射機臺，電子束蒸渡機。

SEMISHARE半導體儀器營銷事業部立足中國深圳，香港，北京，上海，西安等城市為全中國半導體行業提供全球最先進的半導體檢測和工藝設備營銷與技術集成服務，助力先進技術的研發。

SEMISHARE半導體設備制造工廠總資產達5000余萬元，廠房面積約5000平方米，現有員工500余人，其中專業技術人員100余人，公司擁有先進的生產工藝及品控檢測，主要設備有：壓鑄機、精雕機、CNC高光機、光纖激光鐳射機、CD紋機、批字機、各種噸位沖床、線割機、CNC加工中心、火花機、各噸位塑膠注塑機、耐磨測試儀、人工汗測試儀等。2009年，我們開始研發制造SEMISHARE品牌探針臺和激光修復設備，激光器獲得國家專利授權。

SEMISHARE擁有熱誠，專業的員工和遍及中國的營銷及服務網絡，快速響應客戶需求，提供客戶化的產品和端到端的服務，助力客戶的成功。

目前，SEMISHARE的產品和解決方案已經應用于中國100多家客戶，服務中國半導體研發機構前50強中的40多家。

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產品說明

量產型半自動/全自動探針臺
型號	SA-6/SA-8/SA-12	外形	1500（長）1700（寬）1100(高)
重量	1700kg	電力需求/功率	220VAC±10V/50Hz/2.2KW
規格參數	能夠測試的晶圓直徑	6,”8”,12”
	晶圓厚度	300≤T≤1000um（標準） 300≧T(薄片機型）
	晶圓厚度偏差	50um
	Index time	300ms(標準速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移動的時間)
	Chuck 具備5軸移動機構	（X/Y/Z/theta/F）
	X-Y軸行程	380mm, 高速度300mm/s, 分辨率0.1um
	XY全行程機械定位精度	±2um（環境溫度在±1°以內波動時）
	XY大速度	300mm/s
	Chuck平面度	≤5 um
	Z軸行程	37mm，探針分離高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm
	Z軸移動解析度	0.1um
	Z軸定位精度	±2um
	Theta 軸	±5°/0.0001°
	光柵尺	0.1um光柵尺
	預對位平臺	光學原理檢測，平邊或者notch ±1°定位精度
	晶圓機械手	陶瓷機械手，cassette *1
	晶圓裝載單元	一個升降單元，預對位單元，晶圓傳輸子單元以及他們的接口
	自動對位系統	自動水平掃描、自動測試點定位、自動測試中心定位
	自動上下片系統	料盒安全保護、晶圓定位邊預對準
	對位單元	pattern matching
	位移傳感器	采用靜電容傳感器，分辨率 2um （option)
	照明	同軸鹵素燈照明或LED光源
	視場	低倍情況：4.93.6mm 中倍情況：10.72mm 高倍情況：0.49*0.36mm
	PC配置	I5CPU，4G內存，128G固態硬盤等
	LCD 顯示器	對位顯示為黑白，其他顯示為彩色，中文
	鍵盤	單元大小 15*15mm, 46 字母數字
	報警器(三色燈)	紅，黃，綠
	操作場地要求	2200mmX2200mm
	操作界面	Windows中文操作界面，中文MAPING動態顯示
	標記	上下標記，標記可以實時或者離線標記，標記耗時15~300ms，采用ink或者Laser
	可以采用的cassette形式	FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette
可選附件	自動磨針臺	可以兼容高頻測試頭	晶圓ID 識別功能
	可以匹配自動晶圓盒取放設備（AGV or OHT）		直接和晶圓傳輸控制電腦或者服務器通訊
	FOUP(front open unified Pod)有別于普通open cassette , 帶有潔凈氣體單元（mini environment），可以在晶圓傳輸過程保持潔凈在Class100潔凈室里面，探針臺內部可以達到Class 1“主體包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP測試機接口

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