SCG SCG高低溫真空探針臺---

深圳市森美協爾科技有限公司

會員指數：

企業認證：

價格：電議

所在地：廣東

型號：SCG

更新時間：2023-03-30

瀏覽次數：1856

公司地址：深圳市寶安區西鄉恒豐工業城C1棟3樓

18820253316 向先生(先生) 經理

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產品簡介

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。

公司簡介

深圳市森美協爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導體技術的共享事業，專注于促進中國半導體行業的快速成長，目標成為半導體行業領先的total solution供應商。目前設有半導體儀器營銷事業部和半導體設備制造工廠。

SEMISHARE半導體儀器營銷事業部代理的設備包括半導體檢測設備：SEMISHARE品牌探針臺和激光修復儀，I-V/C-V參數測試儀，網絡分析儀，激光系統，金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡，X射線，C-SAM超聲波探測，電子顯微鏡。晶圓工藝設備：晶圓鍵合，去膠，沉積，等離子刻蝕，擴散,氧化爐，勻膠機，光刻機，磁控濺射機臺，電子束蒸渡機。

SEMISHARE半導體儀器營銷事業部立足中國深圳，香港，北京，上海，西安等城市為全中國半導體行業提供全球最先進的半導體檢測和工藝設備營銷與技術集成服務，助力先進技術的研發。

SEMISHARE半導體設備制造工廠總資產達5000余萬元，廠房面積約5000平方米，現有員工500余人，其中專業技術人員100余人，公司擁有先進的生產工藝及品控檢測，主要設備有：壓鑄機、精雕機、CNC高光機、光纖激光鐳射機、CD紋機、批字機、各種噸位沖床、線割機、CNC加工中心、火花機、各噸位塑膠注塑機、耐磨測試儀、人工汗測試儀等。2009年，我們開始研發制造SEMISHARE品牌探針臺和激光修復設備，激光器獲得國家專利授權。

SEMISHARE擁有熱誠，專業的員工和遍及中國的營銷及服務網絡，快速響應客戶需求，提供客戶化的產品和端到端的服務，助力客戶的成功。

目前，SEMISHARE的產品和解決方案已經應用于中國100多家客戶，服務中國半導體研發機構前50強中的40多家。

展開

產品說明

低溫和高溫真空探針臺

SEMISHARE真空環境高低溫測試技術

以下兩個應用需要真空測試環境。

低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。

高溫無氧化測試：

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。

SCG-C-4(閉循環)/SCG-O-4(開循環)特點：

載物Chuck 溫度范圍：4K-500K

外置4個定位針臂，預留2個

探針X-Y-Z三方向移動，行程：25.4mm，定位精度：10微米

多可以外置6個定位針臂

載物chuck zui大可到8英寸

雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度

針臂定位精度可以升級為0.7微米

可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測試

可以選擇防震桌

可以選擇超高真空腔體,限真空到10-10 torr

客戶訂制

溫控規格:

控溫范圍	4K-500K
控溫精度	0.001K
溫度穩定性	4 K + - 0.1 K
	77 K + - 0.1 K
	373 K + - 0.08 K
	473 K + - 0.1 K
	823 K + - 0.2 K(可選)
	973 K + - 1.0K(可選)
常溫到8K冷卻時間:	1小時40分鐘
8K到常溫升溫時間:	1小時30分鐘
從常溫開始的升溫時間	473K 823K 973K
(4 chuck，單位分：秒)	25:00 55:00 70:00
電源	直流
材質	SS304
功率(4chuck)	50/100W

機械規格

針座行程
X軸方向	25.4mm(1 inch)
	可以選擇50.8mm
Y軸方向	25.4mm(1 inch)
	可以選擇50.8mm
Z軸方向	25.4mm(1 inch)
	可以選擇50.8mm
移動精度
X軸方向	10 micron
	可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
Y軸方向	10 micron
	可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
Z軸方向	10 micron
	可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
探針可旋轉角度(應用于射頻測試)	+-5 度

光學部件規格

顯微鏡X-Y軸方向行程	2"*2"
	可以選擇4"*4"
總共放大倍率	240X
	可以選擇更高倍率
真空腔觀察窗口	4 inch
	外部石英材質99%紅外線穿過率
	內部吸收紅外線僅可見光通過
光源	150W可連續調節雙光纖導引