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價格：電議
所在地：上海
型號：WS-650-23NPPB
更新時間：2017-02-04
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公司地址：上海市嘉定嘉新公路835 弄25 號6 幢1327 室
楊洋(先生)
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一、產品概述： 勻膠機WS-650Mz-23NPPB適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動，可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是650S 型勻膠機的特點。 二、勻膠機工作原理： |
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，小于10mm提供3mm的轉接托盤）；
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3、轉動速度：0-12,000rpm， 4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空載）； 5、馬達旋涂轉速：穩定性能誤差 < ±1%； 6、轉速調節精度：<0.2rpm，重復性< 0.2rpm； 7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度； 8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方； 9、數碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006%。 10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態； 11、分辨率：分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，美國標準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！] 13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件； 14、原裝進口水平測試儀； |
可選配置：
IND構造為濕站系統設計，帶遠程控制；
OND構造為手套箱系統設計，帶遠程控制；
UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒，
EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊，機械裝置；
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