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號
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CV-3200S4
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CV-3200H4
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CV-3200W4
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CV-3200S8
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CV-3200H8
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CV-3200W8
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CV-4500S4
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CV-4500H4
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CV-4500W4
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CV-4500S8
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CV-4500H8
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CV-4500W8
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測量
范圍 |
X 軸
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100mm
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200mm
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Z1 軸(檢出器)
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60mm (水平位置±30mm)
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Z2 軸 (立柱) 移動范圍
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300mm
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500mm
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300mm
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500mm
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Z1 軸 (檢出器) |
光柵尺類型
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弧形
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分辨力
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CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm
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測針上/ 下運作
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弧形移動
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測量方向
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向前/ 向后
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測針方向
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CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下單獨測量)
CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根據配重調整) |
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測力
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CV-3200 系列: 30mN (上下可連續測量)
CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根據軟件轉換) |
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跟蹤角度
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向上: 77º, 向下: 83º(根據表面粗糙度，使用標準單切面測針*1)
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驅動部 |
長度基準
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X 軸
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激光全息光柵尺
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Z2 軸 (立柱)
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ABS 光柵尺
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分辨力
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X 軸
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0.05 µm
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Z2 軸 (立柱)
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1 µm
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驅動速度
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X 軸
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0 - 80mm/s 外加手動
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Z2 軸 (立柱)
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0 - 30mm/s 外加手動
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測量速度
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X 軸
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0.02 - 5mm/s
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直線度*2
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X 軸
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0.8µm/100mm
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2µm/200mm
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傾角范圍
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X 軸
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±45º
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精度 (20ºC) |
CV-3200 系列 |
X 軸 |
±(0.8+0.01L)µm L = 驅動長度 (mm)
寬范圍: 1.8µm/100mm 窄范圍: 1.05µm/25mm |
±(0.8+0.02L)µm L = 驅動長度 (mm)
寬范圍: 4.8µm/200mm 窄范圍: 1.3µm/25mm |
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Z1 軸(檢出器)
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±(1.6+|2H|/100)µm H = 水平位置上的測量高度 (mm)
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CV-4500 系列 |
X 軸 |
±(0.8+0.01L)µm L = 驅動長度 (mm)
寬范圍: 1.8µm/100mm 窄范圍: 1.05µm/25mm |
±(0.8+0.02L)µm L = 驅動長度 (mm)
寬范圍: 4.8µm/200mm 窄范圍: 1.3µm/25mm |
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Z1 軸(檢出器)
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±(0.8+|2H|/100)µm H = 水平位置上的測量高度 (mm)
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外形尺寸 (W×D×H)
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主機*3
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756×482x
966mm |
756×482x
1166mm |
1156×482
x1176mm |
766×482
x966mm |
766×482
x1166mm |
1166×482
x1176mm |
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重量
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主機
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140kg
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150kg
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220kg
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140kg
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150kg
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220kg
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免責聲明：以上所展示的[CV系列 輪廓儀]信息由會員[新區創準儀器經營部]自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責。
