| 1. |
強(qiáng)大的電子光學(xué)系統(tǒng)，簡單操作 |
| |
Ⅰ |
新設(shè)計(jì)的超級(jí)圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。 |
| Ⅱ |
廣域掃描線圈可以得到zui低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。 |
| Ⅲ |
的電子光學(xué)系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。 |
| 2. |
高分辨率 |
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Ⅰ |
JSM6510系列超級(jí)圓錐形物鏡，在工作距離8mm時(shí)的分辨率為3nm，超級(jí)圓錐形物鏡 |
| 2 |
的外形設(shè)計(jì)可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。 |
| 3. |
全自動(dòng)電子槍 |
| 2 |
Ⅰ |
JEOL開發(fā)的全自動(dòng)電子槍能夠產(chǎn)生小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進(jìn) |
| 行觀察或成分分析。 |
| Ⅱ |
電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變 |
| 化隨時(shí)調(diào)整偏壓，使得無論選擇哪個(gè)加速電壓，都能得到亮度。 |
| Ⅲ |
JEOL獨(dú)有的像散記憶功能能夠自動(dòng)糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。 |
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| 1KV |
5KV |
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| 10KV |
20KV |
| 4. |
多圖顯示模式 |
| 3 |
Ⅰ |
主顯示區(qū)可以同時(shí)顯示兩幅實(shí)時(shí)圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區(qū) |
| 也可顯示２幅實(shí)時(shí)圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或ＣＣＤ相機(jī)圖像。 |
| Ⅱ |
雙實(shí)時(shí)顯示模式可以用于不同信號(hào)圖像的對(duì)比，用戶可在觀察表面形貌的同時(shí)了解 |
| 樣品的成份分布情況。 |
| Ⅲ |
選用多種圖像顯示模式時(shí)，點(diǎn)擊"PHOTO"按紐可同時(shí)獲得并存儲(chǔ)2或3幅全屏尺度圖像。 |
| 5. |
簡單易懂的操作接口及菜單 |
| |
Ⅰ |
操作接口簡單，直觀，默認(rèn)的操作接口顯示了常用的功能按鈕，并以簡單圖文標(biāo) |
| 明，點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作所有功能。 |
| Ⅱ |
實(shí)時(shí)量測，圖片上的長度和角度等結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)能在顯示器上進(jìn)行測量。 |
| 6. |
可變焦聚光鏡修正 |
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Ⅰ |
做表面觀察和元素分析等不同應(yīng)用時(shí)，選擇合適束流非常重要，一般是通過聚光鏡 |
| 與物鏡光闌來控制電子束流的。如果在調(diào)整束流過程中，焦點(diǎn)和觀察區(qū)域位移變化 |
| 很小，調(diào)整起來會(huì)比較方便。JEOL獨(dú)有的可變焦聚光鏡可以保證這一點(diǎn)。 |
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| |
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| 7. |
全對(duì)中樣品臺(tái)
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| |
Ⅰ |
當(dāng)樣品臺(tái)傾斜時(shí)，全對(duì)中樣品臺(tái)可使圖像位移和焦點(diǎn)變化zui小。使用此樣品臺(tái)可多 |
| 方向觀察粗糙表面樣品，采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過立體 |
| 圖片觀察深度。 |
| 8. |
低真空SEM |
| |
Ⅰ |
低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式下， |
| 不導(dǎo)電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。結(jié)合JEOL獨(dú)有的冷凍干燥技術(shù)， |
| 可在低真空模式下快速觀察含水樣品。 |
| 9. |
各類附件接口 |
| |
Ⅰ |
EDS（能譜）WDS（波譜）BEIW（背散射電子探頭）SCU（冷臺(tái)）SHIC（IC樣品座）LVSE（低真空二次電子探頭）等等 |
| 技術(shù)參數(shù) |
| 放大倍數(shù) |
5-300，000倍 |
| 分辨率 |
高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV) |
| 電子槍 |
全自動(dòng)，亦可手動(dòng)調(diào)整 |
| 樣品臺(tái) |
大全對(duì)中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉(zhuǎn)：360度 |
| 燈絲 |
工廠預(yù)對(duì)中燈絲（鎢） |
| 圖像模式 |
二次電子像，成份像，拓?fù)湎瘢幱跋?/td>
|
| 加速電壓 |
5-30KV |
| 聚光鏡 |
可變焦聚光鏡 |
| 物鏡 |
超級(jí)錐形物鏡 |
| 物鏡光闌 |
3檔，X-Y可細(xì)調(diào) |
| 電位移 |
±50微米 |
| 自動(dòng)功能 |
聚焦，亮度，襯度，消像散 |
| zui大樣品 |
直徑：150mm |
| 樣品交換 |
抽拉式樣品臺(tái) |
| 真空系統(tǒng) |
全自動(dòng)擴(kuò)散泵DP。分子泵TMP（選購） |
| 操作系統(tǒng) |
Windows XP |
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| 安裝要求 |
| 電源 |
單相，100V交流，50/60Hz，3.0KVA 穩(wěn)壓范圍10%以內(nèi)（壓降3.0KVA3%以內(nèi)） |
| 地線 |
地線一條，小于等于100歐 |
| 溫度 |
20土5℃ |
| 濕度 |
小于等于60% |
| 交流磁場 |
小于等于0.3μT（50/60Hz正玄波，WD：15mm，Acc.V：30KV） |
| 地面振動(dòng) |
大于5Hz正玄波 小于等于2μm（P-P） |
| 占地 |
2000（W）*2500（D）*1800（H）mm |
| 重量 |
325Kg（JSM-6510） 435Kg（JSM-6510LV） |
| 門寬 |
850mm以上 |
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SEM掃描電子顯微鏡 
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日本電子SEM掃描電鏡
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