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工業(yè)檢測(cè)顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開(kāi)發(fā)的
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1 |
平場(chǎng)目鏡 |
大視野WF10XΦ25mm |
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2 |
平場(chǎng)分劃目鏡 |
WF10X/Φ20mm （0.1格值） |
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3 |
無(wú)窮遠(yuǎn)平場(chǎng)長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)物鏡 |
(放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑/工作距離) |
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4 |
總放大倍數(shù) |
50X-800X |
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5 |
三目觀察頭： |
30°傾斜 |
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6 |
物鏡轉(zhuǎn)換器： |
五孔帶DIC、明暗場(chǎng)插孔 |
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7 |
粗微調(diào)調(diào)焦范圍： |
30mm,粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值0.002mm |
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8 |
載物臺(tái)： |
雙層移動(dòng)平臺(tái) 尺寸350 |
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9 |
載物臺(tái)移動(dòng)： |
具有快速手推功能，可實(shí)現(xiàn)快速到位 |
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10 |
偏光裝置 |
檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
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11 |
DIC暗場(chǎng)裝置 |
DIC、暗場(chǎng)插件均可移出光路 |
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12 |
落射照明： |
亮度可調(diào) 鹵鎢燈泡 12V100W 落射照明器帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄 |
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13 |
儀器重量 |
凈重35kg 毛重40kg |
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14 |
儀器尺寸 |
儀器尺寸40 |
