四探針電阻率/方阻測試儀  KDK-KDY-1

KDK-KDY-1型四探針電阻率測試儀是嚴(yán)格按照硅片電阻率測量的國際標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進(jìn)。

整套儀器有如下特點(diǎn)：

1、 配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更精確。數(shù)字電壓表量程：0—199.99mV  靈敏度：10μV  輸入阻抗：1000ΜΩ                  0—9.999mV  靈敏度：1μV  輸入阻抗：10ΜΩ                  基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)2、 可測電阻率范圍：0.001—6000Ω•cm。3、 設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時(shí)，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時(shí)，電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值，避免空間雜散電波對測量的干擾。4、 流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之幾精度)的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響。電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。5、 儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(＜5mΩ)、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(＞10萬次)，在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。6、 可加配HQ-710E微處理機(jī)及打印機(jī)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測量、求平均值，計(jì)算并打印電阻率zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。7、 四探針頭采用國際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測量重復(fù)性提高