一、電子超純水工藝簡介
電子、半導(dǎo)體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過程中，往往需要使用其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話，會影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。在光伏行業(yè)電子管生產(chǎn)中，如其中混入雜質(zhì)，就會影響電子的發(fā)射，進而影響電子管的放大性能及壽命，在顯像管和陰射線管生產(chǎn)中，其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì)，如其配制純水中含銅在8ppb以上，就會引起發(fā)光變色；含鐵在50ppb以上就會使發(fā)光變色、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。在黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)的12個工序中，玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等5個工序需使用純水，每生產(chǎn)一個晶體管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液，如純水中有金屬離子、微生物、微粒等雜質(zhì)，就會使液晶顯示電路發(fā)生故障，影響液晶屏質(zhì)量，導(dǎo)致報廢、次品。在晶體管、集成電路生產(chǎn)中，純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，硅片氧化的水汽源，部分設(shè)備的冷卻水，配制電鍍液等。集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬（K、Na等）會使緣膜耐壓不良，重金屬（Au、Ag、Cu等）會使PN結(jié)耐壓降低，III族元素（B、Al、Ga等）會使N型半導(dǎo)體特性惡化，V族素（P、As、Sb等）會使P型半導(dǎo)體特性惡化，水中細(xì)菌高溫碳化后的磷（約占灰分的20%~50%）會使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。水中的顆粒（包括細(xì)菌）如吸附在硅片表面，就會引起電路短路或特性變差。因此水的質(zhì)量相當(dāng)重要。采用反滲透加EDI的脫鹽工藝，可以達(dá)到超純水標(biāo)準(zhǔn)。
二、應(yīng)用領(lǐng)域

醫(yī)藥行業(yè)用水：醫(yī)用大輸液、腎透析、注射劑、醫(yī)藥制劑等
食品工業(yè)用水：飲用純凈水、礦泉水、飲料、啤酒、乳業(yè)等
海水、苦咸水淡化：海島、艦船、高鹽堿地區(qū)生活用水改善
樓宇、社區(qū)優(yōu)質(zhì)用水：賓館、機場、房產(chǎn)物業(yè)純水網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)等
化工行業(yè)工藝用水：化工、冷卻、化肥、化學(xué)藥劑制造
電子工業(yè)用水：單晶硅半導(dǎo)體、集成電路塊、顯象管制造系統(tǒng)
工業(yè)產(chǎn)品制造用水：汽車、家電涂裝、涂料、油漆、精細(xì)加工清洗等
電力行業(yè)鍋爐給水：熱力、火力發(fā)電鍋爐、中低壓鍋爐動力系統(tǒng)
精細(xì)化工、精尖學(xué)科用水：化妝品、洗滌劑、生物化工、基因工程等
中藥提?。褐兴?、西藥、淀粉、味精、食乳品、化工等
其它：節(jié)水灌溉、汽車清洗、游泳池、污水處理、不銹鋼非標(biāo)制品等

適合飲用純凈水、釀酒、食品、飲料用水。

三、工藝流程
方案1 預(yù)處理系統(tǒng)→復(fù)床系統(tǒng)→混床系統(tǒng)→后處理系統(tǒng)→用水點
方案2 預(yù)處理系統(tǒng)→ RO 系統(tǒng)→混床系統(tǒng)→后處理系統(tǒng)→用水點
方案3 預(yù)處理系統(tǒng)→ RO系統(tǒng)→EDI系統(tǒng)→后處理系統(tǒng)→用水點
工藝一

原水——原水加壓泵——多介質(zhì)過濾器——活性碳過濾器——鈉離子過濾器——過濾器——高壓-----泵——反滲透主機——臭氧消毒器——純水箱——純凈水增壓泵——紫外線殺菌器——用水系統(tǒng)

工藝二

適合飲用純凈水、釀酒、食品、飲料用水。

1.原水——原水加壓泵——多介質(zhì)過濾器——活性碳過濾器——鈉離子過濾器——過濾器——高壓------泵——1級反滲透主機——高壓泵——2級反滲透主機——臭氧消毒器——純水箱——純凈水增壓-----泵——紫外線殺菌器——用水系統(tǒng)。