產品簡介
是否提供加工定制否類型電參數測量儀 品牌羲和型號RTM660C RTM660C無接觸式硅片厚度電阻率測試系統
產品說明
| 是否提供加工定制 | 否 | 類型 | 電參數測量儀 |
| 品牌 | 羲和 | 型號 | RTM660C |
RTM660C無接觸式硅片厚度電阻率測試系統
RTM660C采用的厚度及電阻率探頭，配以強大的軟件控制，可以用多種方式進行無接觸式測量，使得測試過程變得十分。系統采用一體化設計，結構緊湊，安裝方便。使用者在操作平臺上轉動硅片，測試數據可即時顯示，并可對測試數據進行分析處理。電容式厚度探頭和電渦流式電阻率探頭，保證測試結果且穩定。RTM660C可廣泛使用于研究、生產及質檢等場所，友好的人機交互界面，使用相當便捷。
技術參數
■ 硅片規格：
方片 125x125mm、156x156mm
圓片 3″、4″、5″、6″、8″
■ 測試功能
厚度：單點及多點厚度
TTV：總厚度偏差
體電阻率：單點及多點體電阻率
■ 測試指標
厚度范圍：150～1000μm
測量誤差：≤±1.0μm
重復性： ≤±0.20μm
TTV范圍：0.00μm～200.00μm
測量誤差：≤±0.50μm
重復性： ≤±0.20μm
體電阻率范圍：0.1Ω.cm~30.0Ω.cm
測量誤差：≤±3%
重復性： ≤1.5%
■ 設備尺寸/重量：470mm(L) x 420mm(W) x 600mm(H)/20Kg
■ 測試環境要求：溫度范圍 15 ～ 27 ℃
■ 濕度范圍：35% ～ 85%
■ 電源要求：220 VAC, 50 Hz
■ 控制器：高性能主機
系統演示
系統操作演示
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