產品簡介
北京小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于
公司簡介
北京富瑞恒創科技有限公司，成立于2009年8月，成立至今已經和國內多家知名教育機構，全國各地多家企業有過長期的合作關系，專注于新型材料試驗機的研究，長期聘請清華大學精密儀器系的專家為技術顧問，并成立新型材料檢測儀器研發中心。
北京富瑞恒創科技有限公司是集專業設計、開發、生產與銷售于一體的高新技術股份制企業，專注于新型材料試驗機的研制、材料檢測技術的提高及材料試驗方法的創新，是國內領先的材料試驗檢測儀器的生產企業。
富瑞恒創儀器研發部擁有行業內最優秀的、權威的研發力量及技術團隊，長期聘請清華大學精密儀器系的專家為技術顧問，并成立新型材料檢測儀器研發中心，是對推動國內材料檢測技術的提高和試驗方法創新的重要技術保證力量。富瑞恒創同時還與中科院自動化研究所、國防科技大學等全國數十所科研院所開展緊密合作，并為中國國防軍工企業及航天科技企業和重點實驗室定制生產了大量標準和非標準的專用測試儀器。
富瑞恒創以精美的產品、精湛的技術、精良的品質、精心的服務贏得了廣大用戶和市場份額，產品暢銷全國，擁有一大批國內外著名科研院所及企業用戶，是國內試驗機行業發展速度最快的企業之一。
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產品說明
北京小流量氣體質量流量傳感器
型號：TL/FS4001
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北京小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
產品特點：
- 傳感器靈敏度高,有小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩定度高
- 全量程高穩定性
- 全量程高度和優良的重復性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
北京小流量氣體質量流量傳感器主要參數：
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性能參數
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FS4001
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單位
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通 徑
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1.0
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1.8
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mm
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zui大流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SCCM
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量程比
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≥100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重復性
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0.25
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%讀數
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零點輸出飄移
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±30
|
mV
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輸出飄移
|
±0.12
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%/oC
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響應時間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式
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線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
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zui大流量壓損
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350
|
300
|
pa
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zui大工作壓力
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0.5
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MPa
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工作溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存儲溫度
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-20 ~ +65
|
oC
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工作濕度
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<95%RH（無結冰、無凝露）
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機械接口
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可拆式軟管接頭
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校準方式
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空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
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重量
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15
|
g
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