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價格：電議
所在地：北京
型號：PMEye-3000系列
更新時間：2018-10-18
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公司地址：北京市中關村科技園區通州園金橋產業基地 環科中路16號,聯東U谷中試區68號B座
王經理(女士)
◆多種激光器可選
◆Mapping掃描速度：優于20點/秒
◆空間分辨率：10um（物鏡），50um（透鏡）
◆光譜分辨率：0.1nm@1200g/mm
◆Mapping結果以3D方式顯示
◆zui大8吋的樣品測量
◆晶片定位
◆樣品真空吸附
◆可做低溫測量
◆膜厚測量
測試原理：
PL是一種輻射復合效應。在一定波長光源的激發下，電子吸收激發光子的能量，向高能級躍遷而處于激發態。激發態是不穩定的狀態，會以輻射復合的形式發射光子向低能級躍遷，這種被發射的光稱為熒光。熒光光譜代表了半導體材料內部，一定的電子能級躍遷的機制，也反映了材料的性能及其缺陷。
操作簡便、全電腦控制
PMEye-3000系列PL Mapping測量儀，是一款適合于半導體晶片和LED外延片科研、生產和質量控制環節的儀器；采用整機設計，用戶只需要根據需要放置合適的檢測樣品，無需進行復雜的光路調整，操作簡便；所有控制操作均通過計算機來控制實現。
全新的樣品臺設計，采用真空吸附方式對樣品進行固定，防止對樣品的損傷；可對常規尺寸的晶圓樣品進行定位，提高測量重復性。
系統采用直流和交流兩種測量模式，直流模式用于常規檢測，交流模式用于微弱熒光檢測。
熒光測量
一般的PL測量儀只是測量熒光的波長和強度。PMEye-3000系列增加對激光強度的監控，并根據監控結果來對熒光測量進行校正。這樣就可以消除激發光源的不穩定帶來的測量誤差，也使測量結果有可比性。
Mapping功能
PMEye-3000系列配置200200mm的X-Y電控位移臺，zui大可測量8英寸的晶圓樣品。用戶可以根據不同的樣品規格來設置掃描區域及空間分辨率，掃描速度優于每秒20個點，空間分辨率可達10um（物鏡），50um（透鏡）。掃描結果以3D方式顯示，以不同的顏色來表示不同的熒光強度。
激光器
PMEye-3000系列有多種高穩定性的激光器可選，系統多可內置2個激光器和一個外接激光器，標配為1個激光器。用戶可以根據測量對象來配置不同的激光器，使PL檢測更加靈活。
PMEye-3000系列可內置的激光器波長有：266nm，405nm，442nm，532nm、785nm等，外置激光器波長有：325nm，632.8nm等。
功能強大的軟件
我們具有多年的測量儀器操作軟件的開發經驗，熟悉用戶的操作習慣，這使我們開發的這套PMEye-3000系列操作軟件功能強大且操作簡便。
PMEye-3000系列操作軟件提供單點PL光譜測量及顯示，單波長的X-Y Mapping測量及顯示，mapping結果以3D方式顯示。同時具有多種數據處理方式來對所測量的數據進行處理。
低溫樣品室附件
該附件可實現樣品在低溫狀態下的熒光檢測。
有些樣品在不同的溫度條件下，將呈現不同的熒光效果，這時就需要對樣品進行低溫制冷。
如圖所示，從圖中我們可以發現在室溫時，GaN薄膜的發光波長幾乎含蓋整個可見光范圍，且強度的zui高峰出現在580nm附近，但整體而言其強度并不強；隨著溫度的降低，發光強度開始慢慢的增加，直到110K時，我們可以發現在350nm附近似乎有一個小峰開始出現，且當溫度越降越低，這個小峰強度的增加也越顯著，一直到zui低溫25K時，基本上就只有一個熒光峰。
GaN薄膜的禁帶寬度在室溫時為3.40Ev,換算成波長為365nm，而我們利用PL系統所測的GaN薄膜在25K時在356.6nm附近有一個峰值，因此如果我們將GaN薄膜的禁帶寬度隨溫度變化情況也考慮進去，則可以發現在理論上25K時GaN的禁帶寬度為3.48eV，即特征波長為357.1nm，非常靠近實驗所得的356.6nm，因此我們可以推斷這個發光現象應該就是GaN薄膜的自發輻射。
性能及功能
| 掃描模式 | 單波長mapping |
| 攝譜模式 | 峰值波長mapping；給定波長范圍的積分 |
| 光源 | 405nm激光（標配） 150W溴鎢燈（可選，用于膜厚測量） |
| 光源調制 | 斬波器 |
| 光譜儀 | 三光柵DSP掃描光譜儀 |
| 光譜儀焦距 | 500mm（標配） |
| 波長準確度 | ±0.2nm（1200g/mm，300nm） ±0.6nm（600g/mm，500nm） ±0.8nm（300g/mm，1250nm） |
| 探測器 | Si探測器，波長范圍：200～1100nm （標配） |
| 數據采集設備 | 帶前置放大器的數字采集器DCS300PA 鎖相放大器SR830 |
| 二維位移平臺 | 行程200*200mm，重復定位精度<3μm |
| 樣品臺 | 具有真空吸附功能，對主流的3’’,4’’,5’’,6’’，8’’的晶片可進行定位 |
| Mapping掃描速度 | 優于20點/秒 |
| Mapping位移步長 | zui小可到1um |
| 空間分辨率 | 10um（物鏡方式），50um（透鏡方式） |
| 重復定位精度 | <3μm |
探測器選擇
| 探測器類型 | 光譜響應范圍 |
| R1527光電倍增管 | 200～680nm |
| CR131光電倍增管 | 200～900nm |
| DSi300硅光電探測器 | 200～1100nm |
| DInGaAs1700常溫型銦鎵砷探測器 | 800～1700nm |
| DInGaAs1900制冷型銦鎵砷探測器 | 800～1900nm |
| DinGaAs2200制冷型銦鎵砷探測器 | 800～2200nm |
| DinGaAs2600制冷型銦鎵砷探測器 | 800～2600nm |
免責聲明：以上所展示的[PMEye-3000系列 PL Mapping測量儀]信息由會員[北京卓立漢光儀器有限公司]自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責。
