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產品說明
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凈化工程的溫濕度要求
松原千級凈化工程 長嶺凈化車間 由凈化工程所特別設計的房間,其室內的溫濕度標準有一定的使用要求。
凈化工程的溫濕度要求
先,室內的溫濕度主要根據工藝的要求來確定,但是我們同時還要考慮到人的舒適度,因為工作人員總是要在室內工作的,如果溫濕度與人體需要的正常溫濕度相差過大,很可能對工作人員的身體健康帶來影響。
松原千級凈化工程 長嶺凈化車間 其次,由于凈化工程主要是用在電子信息、半導體、光電子、制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等領域,而近年來,人們對這些領域的工藝要求越來越高,所以對潔凈室內的溫濕度控制也越來越高,再加上加工越來越精細,很多加工產品都要求有越來越小的溫度波動,否則就會對加工產品的性能帶來重大影響。我們以直徑為100um的硅片為例,只要溫度上升1度,就會引起0.24um的線性膨脹,因此我們要求它必須要有±0.1度的恒溫。可見,加工產品對室內的溫度要求是為嚴苛的。
松原千級凈化工程 長嶺凈化車間 室內的溫度還會通過人體進而影響到物品,我們以一些怕鈉的半導體為例,如果室內溫度過高,就會引起人體出汗,而人體出汗所產生的一部分鈉,就是我們所俗稱的鹽分會對半導體帶來污染,因此,我們要求它的車間不宜超過25度。
松原千級凈化工程 長嶺凈化車間 室內的濕度控制同樣不容忽視,實驗證明,當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上就會結露,試想如果這種濕度發生在裝置或電路中,那不引起一些事故就奇怪了。同時,如果室內濕度過高,還會引起室內工件的清潔問題,以硅片為例,如果室內相對濕度超過50%,空氣中的水分子就會把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面,使之難以清除。而當相對濕度過低時,同樣是硅片,如果室內濕度低于30%時,那么它就會因為靜電力的作用使得粒子吸附于表面,難以清除。
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