FESTO真空發生器及真空安全閥座的口徑和閥瓣的開啟高度，由開啟高度不同，又分為微啟式和全啟式兩種。微啟式是指閥瓣的開啟高度為閥座喉徑的1／40～l／20。全啟式是指閥瓣的開啟高度為閥座喉徑的1／4。
目前大量生產的安全閥有彈簧式和桿式兩大類。另外還有沖量式安全閥、先導式安全閥、安全切換閥、安全解壓閥、靜重式安全閥等。彈簧式安全閥主要依靠彈簧的作用力而工作，彈簧式安全閥中又有封閉和不封閉的，一般易燃、易爆或有毒的介質應選用封閉式，蒸汽或惰性氣體等可以選用不封閉式，在彈簧式安全閥中還有帶扳手和不帶扳手的。扳手的作用主要是檢查閥瓣的靈活程度，有時也可以用作手動緊急泄壓用。杠桿式安全閥主要依靠杠桿重錘的作用力而工作，但由于杠桿式安全閥體積龐大往往限制了選用范圍。
FESTO真空發生器及真空安全閥在系統中起安全保護作用。當系統壓力超過規定值時，安全閥汀開，將系統中的一部分氣體排入大氣，使系統壓力不超過允許值，從而保證系統不因壓力過高而發生事故。安全閥又稱溢流閥。圖示為安全閥的幾種典型結構形式。圖a為活塞式安全閥，閥芯是一平板。氣源壓力作用在活塞A上，當壓力超過由彈簧力確定的安全值時，活塞A被頂開，一部分壓縮空氣即從閥口排入大氣；當氣源壓力低于安全值時，彈簧驅動活塞下移，關閉閥口.圖b和c分別為球閥式和膜片式安全閥，工作原理與活塞式完全相同。這三種安全閥都是彈簧提供控制力，調節彈簧預緊力，即可改變安全值大小，故稱之為直動式安全閥。
FESTO真空發生器及真空安全閥提供控制壓力作用于膜片上，膜片上硬芯就是閥芯，壓在閥座上。當氣源壓力A大于安全壓力時，閥芯開啟，壓縮空氣從左側輸出孔排入大氣。膜片式安全閥和先導式安全閥壓力特性較好、動作靈敏；但zui大開啟力比較小，即流量特性較差。實際應用時，應根據實際需要選擇安全閥的類型，并根據zui大排氣量選擇其通徑。
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