TRANSPECTOR XPR3的特點(diǎn)

·新設(shè)計(jì)的離子源使污染的產(chǎn)生zui小化，從而延長(zhǎng)使用壽命 和提供更清楚的訊號(hào)。

·新型EM在PVD工藝壓強(qiáng)下工作，提供更快速、清晰的數(shù)據(jù)收集和免除FC至EM的轉(zhuǎn)換，簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)的解譯過(guò)程。

·新型加長(zhǎng)的四極桿場(chǎng)可提高低質(zhì)量范圍的過(guò)濾能力，提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度，從而改善氫的監(jiān)測(cè)靈敏度。

    Transpwctor XPR3是新一代的高壓強(qiáng)四極場(chǎng)工藝氣體分析儀。它研發(fā)于先前INFICON系統(tǒng)成功的基礎(chǔ)上，在物理相汽沉積(PVD)檢測(cè)中具有無(wú)比高的靈敏度、精確度和靈活性。一系列技術(shù)上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空，無(wú)需大型負(fù)責(zé)的壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換設(shè)備。

TRANSPECTOR XPR3的應(yīng)用

·PVD工藝模塊

·預(yù)清洗模塊

·Non-cluter PVD設(shè)備

·Clamped的除氣模塊