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價格:電議
所在地:北京
型號:XTY5130351
更新時間:2014-06-25
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公司地址:中國 北京市海淀區 北京市海淀區信息路28號
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梁先生(先生) 銷售經理
非接觸式三維光學輪廓儀
測量原理:相干相關算法(Coherence Correlation Interferometry)
垂直方向測量范圍(Z):2.2mm,拼接后可達10mm
垂直向分辨率:0.01nm(0.1 Å)
垂直方向噪音:<0.08nm
垂直方向測量重復性:<0.02nm
zui大測量區域(X,Y):6.6mm × 6.6mm,拼接后可達75mm ×75mm
光學分辨率(X,Y):0.4~0.6µm(與被測面有關)
工作臺尺寸:X,Y=150mm × 150mm,Z=100nm
臺階高度重復性:< 0.1%
測量物鏡:2.5× 5× 10× 20× 50× 100×
標準平面:平面度< 0.2nm (RMS)
數據分析軟件:Talymap (Golden版),可以分析所有的二維和三維形貌和輪廓參數
免責聲明:以上所展示的[XTY5130351 非接觸式三維光學輪廓儀]信息由會員[軒泰儀(北京)科技有限公司]自行提供,內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責。