非標(biāo)探針臺(tái)
I (1)微型探針臺(tái)
整機(jī)外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg；
雙探針座平臺(tái)鍍鏢設(shè)計(jì)，提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力；
ChJKZC-UCk XY微分頭設(shè)計(jì)，行程25mm*25mm,精度2um；
ChJKZC-UCk大小：2英寸，中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均控制；
卡盤電學(xué)懸空，帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用；
臺(tái)體底板帶高性能防震海綿，可一定程度減小外界震動(dòng)對(duì)測(cè)試的干擾;
整機(jī)人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，使用便捷。
| (2)倒裝手動(dòng)測(cè)試夾具
可給樣品加載DC或者RF信號(hào)；
樣品可在0~180度任意角度內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并固定；
具備微調(diào)功能，精度0.1度；
玻璃樣品載臺(tái)，高透光性；
可無(wú)磁化設(shè)計(jì)，在光學(xué),電磁等環(huán)境中運(yùn)用較為廣。
| (3)光電流測(cè)試顯微鏡
可在原有光路基礎(chǔ)上可以導(dǎo)入另一路光源，用于輻照樣品以測(cè)試樣品在特定波長(zhǎng)及能量下電學(xué)性能；
顯微鏡設(shè)計(jì)為雙光路或3光路，其中一路為導(dǎo)入光通路，另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源 ,波長(zhǎng)范圍200nm~20000nm,中間可加入多個(gè)波片過(guò)濾,起偏及偏振角度無(wú)級(jí)360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示。所有模塊均可拉出設(shè)計(jì)，對(duì)導(dǎo)入光性質(zhì)無(wú)影響；
導(dǎo)入光光路可選擇光時(shí)間開關(guān),控制導(dǎo)入光的輻照時(shí)間，精度1ms,范圍2ms~oo,在控制界面上可對(duì)各種參數(shù)進(jìn) 行詳細(xì)設(shè)置，成像光路為同軸照明金相成像，其中一路為1倍成像，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25-10倍率，通常在高 低溫測(cè)試系統(tǒng)里會(huì)用到，同一個(gè)物鏡不切換，得到兩個(gè)不同視野的成像。
(4）TEC制冷卡盤
釆用TEC制冷，無(wú)需液氮，使用方便；
可給樣品提供不同溫度環(huán)境；
樣品臺(tái)大小可選，防干擾設(shè)計(jì)，具備良好的接地性能;
溫度范圍:負(fù)45°C~150°C,溫度分辨率：0.1°C,
溫度穩(wěn)定性：土 0.3°C；
樣品臺(tái)微調(diào)升降，行程O-lOmm,精度10umo
(5)磁場(chǎng)探針臺(tái)(無(wú)磁設(shè)計(jì))
在探針臺(tái)的基礎(chǔ)上，可加載三維磁場(chǎng)，多維磁場(chǎng)，磁場(chǎng)強(qiáng)度，精度和間隙均可調(diào)整;
高剛性結(jié)構(gòu)，所有零配件均采用無(wú)磁化材料；
可加載高低溫，可同時(shí)進(jìn)行DC和RF測(cè)試；
| 可以旋轉(zhuǎn)，可客制化。 |
|
|⑹110g以上高頻測(cè)試探針臺(tái)
可配合市場(chǎng)主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測(cè)試；
大行程探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制；
顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動(dòng),擴(kuò)大了顯微鏡視場(chǎng)；
兼容直流與高頻信號(hào)；
可以定制,可升級(jí)性強(qiáng)；
大可以測(cè)試12英寸樣品,探針臺(tái)chJKZC-UCk具備升降功能，便于樣品和 探針的快速分離。
(7)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)
自動(dòng)探針測(cè)試系統(tǒng)，可以與半?yún)ⅲW(wǎng)分聯(lián)動(dòng)；
電動(dòng)二維平臺(tái)，可手動(dòng)和電動(dòng)操作；
ChJKZC-UCk XY軸運(yùn)動(dòng)行程100*100mm,復(fù)定位精度＜±lum；
X-Y軸驅(qū)動(dòng):電機(jī)+絲桿+光柵尺；
探針/光纖探針XYZ軸電動(dòng)模塊30*30*30mm,復(fù)定位精度W ±lum；
X-Y-Z軸驅(qū)動(dòng):電機(jī)+絲桿+光柵尺。
| (8)可升降平臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào)：T-station
產(chǎn)品參數(shù)：
尺寸和重量定制；
單個(gè)探針座平臺(tái)多可同時(shí)放置3個(gè)探針座；
探針座平臺(tái)表面鍍鏢，增大與探針座之間的吸附力;
隱匿螺紋固定于標(biāo)準(zhǔn)蜂窩板，美觀，并且方便拆卸；
平臺(tái)可升降，升降高度和精度可定制；
可配合光電流顯微鏡使用。
| (9)納米探針座
產(chǎn)品型號(hào)：JKZC-DCH-20nm
產(chǎn)品參數(shù)：
X軸分辨率：20nm,行程30um (旋鈕控制盒)；
YZ軸分辨率：10um,行程+-6.5mm；
釆用壓電陶瓷設(shè)計(jì)，可以固定步距撥動(dòng)樣品或者納米線。
(10)毫米級(jí)手持式探針夾具
I產(chǎn)品型號(hào)：JKZC-DCH
I產(chǎn)品參數(shù)
整體尺寸:20*20*180mm;
萬(wàn)向調(diào)節(jié)旋鈕，方向可調(diào)，松緊可調(diào)；
磁吸底座，直徑20mm;
兼容彈簧針和晶圓針；
Cable接頭可定制三軸，同軸或者其它。
(11) FA失效分析探針臺(tái)
|產(chǎn)品型號(hào)：FA
I產(chǎn)品參數(shù)
探針臺(tái)系統(tǒng)可以選用：4~12英寸JKZC-DN系列探針臺(tái)。
激光系統(tǒng)可以選用美國(guó)ESI三波段激光器或者法國(guó) quantel激光器
美國(guó)ESI (NEWWAVE)激光器參數(shù)
鐳射波長(zhǎng)1064和532nm和355nm
輸出功率2.2mJ/pulse
擊打頻率lHz~50Hz
可加工的材質(zhì):Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide等
小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)
大加工尺寸40微米(使用50X物鏡)
