標(biāo)準(zhǔn)探針臺(tái)/ JKZC-UC系列高低溫探針臺(tái)
I產(chǎn)品概要
JKZC-UC系列探針臺(tái)是一款在非真空條件下實(shí)現(xiàn)低溫環(huán)境的測(cè)試探針臺(tái)。該產(chǎn)品釆用液氮或者空氣壓縮機(jī)制冷 ,自動(dòng)控溫，設(shè)備配置非常豐富。自帶屏蔽暗室，一方面可以屏蔽無線電磁干擾，另外一方面也可以保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜。此設(shè)備對(duì)于一些有溫度需求的測(cè)試，尤其是低溫，運(yùn)用非常廣泛。
I技術(shù)特點(diǎn)
?采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽無線電磁干擾的同時(shí)可給樣品提供高低溫測(cè)試環(huán)境；
?卡盤可360度快速移動(dòng)，便于快速定位樣品位置，提高測(cè)試效率；
?加厚級(jí)剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),的內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
I詳細(xì)參數(shù)
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產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù) |
JKZC-UC6 |
JKZC-UC8 JKZC-UC12 |
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探針臺(tái)本體 |
主體材料 |
航空鋁 |
航空鋁 |
航空鋁 |
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整機(jī)尺寸（mm） |
780L*580W*680H |
830L*610W*680H |
950L*730W*680H |
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重量 |
85kg |
125kg |
175kg |
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卡盤大小 |
6" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) |
8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) |
12", 360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) |
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卡盤XY軸行程 |
6"*6"，精度 10um |
8"恪"，精度10um |
12"*12"，精度 10um |
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卡盤氣浮移動(dòng)范圍 |
360度快速移動(dòng)，便于快速定位，提高測(cè)試效率 |
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卡盤材質(zhì) |
不銹鋼鍍金，具備小的接觸電阻 |
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卡盤拉出功能 |
卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80%,便于換樣品 |
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卡盤吸附方式 |
真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） |
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背電極測(cè)試功能 |
卡盤鍍金，電學(xué)懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 |
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腔體 |
帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜 |
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其他功能 |
帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí) |
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溫控 |
溫度范圍 |
-100~200°C - 80~200°C |
-60~2000°C |
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溫控精度 |
溫度分辨率：0.01°C |
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加熱電源 |
LVJKZC-DCH低壓直流 |
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低控溫速率 |
±0.1℃ |
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制冷方式 |
液氮制冷（自動(dòng)控溫） |
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針座平臺(tái) |
材質(zhì) |
0型平臺(tái)，Q235鍍鎳，帶接地端子 |
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大小 |
多可放置8個(gè)探針座 多可放置10個(gè)探針座 |
多可放置14個(gè)探針座 |
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兩段式升降平臺(tái) |
探針平臺(tái)可以快速升降，行程3mm；可以上下微調(diào)，行程40mm,升降精度lum |
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顯TH系統(tǒng) |
顯微鏡類型 |
體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) |
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倍率范圍 |
16X-200X/40X-280X/20X-4000X |
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顯微鏡行程 |
具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸P英寸，精度lum |
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CCD成像系統(tǒng) |
2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能 |
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探針座 |
種類 |
絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 |
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X￥Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
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機(jī)械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
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夾具 |
漏電精度 |
同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA |
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接口形式 |
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 |
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其它 |
選件 |
屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動(dòng) |
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電力需求 |
220V/50HZ |
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