標準探針臺/ JKZC-UC系列高低溫探針臺
I產品概要
JKZC-UC系列探針臺是一款在非真空條件下實現低溫環境的測試探針臺。該產品釆用液氮或者空氣壓縮機制冷 ,自動控溫，設備配置非常豐富。自帶屏蔽暗室，一方面可以屏蔽無線電磁干擾，另外一方面也可以保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜。此設備對于一些有溫度需求的測試，尤其是低溫，運用非常廣泛。
I技術特點
?采用密閉腔結構，屏蔽無線電磁干擾的同時可給樣品提供高低溫測試環境；
?卡盤可360度快速移動，便于快速定位樣品位置，提高測試效率；
?加厚級剛性金屬框架結構設計,的內部防震技術，結構性能穩定。
I詳細參數
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產品型號 技術參數 |
JKZC-UC6 |
JKZC-UC8 JKZC-UC12 |
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探針臺本體 |
主體材料 |
航空鋁 |
航空鋁 |
航空鋁 |
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整機尺寸（mm） |
780L*580W*680H |
830L*610W*680H |
950L*730W*680H |
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重量 |
85kg |
125kg |
175kg |
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卡盤大小 |
6" ,360度轉動，可微調 |
8",360度轉動，可微調 |
12", 360度轉動，可微調 |
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卡盤XY軸行程 |
6"*6"，精度 10um |
8"恪"，精度10um |
12"*12"，精度 10um |
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卡盤氣浮移動范圍 |
360度快速移動，便于快速定位，提高測試效率 |
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卡盤材質 |
不銹鋼鍍金，具備小的接觸電阻 |
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卡盤拉出功能 |
卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80%,便于換樣品 |
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卡盤吸附方式 |
真空吸附，可選擇環形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） |
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背電極測試功能 |
卡盤鍍金，電學懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 |
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腔體 |
帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜 |
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其他功能 |
帶標準接地保護，可升級 |
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溫控 |
溫度范圍 |
-100~200°C - 80~200°C |
-60~2000°C |
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溫控精度 |
溫度分辨率：0.01°C |
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加熱電源 |
LVJKZC-DCH低壓直流 |
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低控溫速率 |
±0.1℃ |
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制冷方式 |
液氮制冷（自動控溫） |
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針座平臺 |
材質 |
0型平臺，Q235鍍鎳，帶接地端子 |
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大小 |
多可放置8個探針座 多可放置10個探針座 |
多可放置14個探針座 |
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兩段式升降平臺 |
探針平臺可以快速升降，行程3mm；可以上下微調，行程40mm,升降精度lum |
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顯TH系統 |
顯微鏡類型 |
體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統 |
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倍率范圍 |
16X-200X/40X-280X/20X-4000X |
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顯微鏡行程 |
具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸*2英寸P英寸，精度lum |
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CCD成像系統 |
2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 |
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探針座 |
種類 |
絲桿型/微分頭型/經濟型探針座 |
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X￥Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
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機械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
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夾具 |
漏電精度 |
同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA |
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接口形式 |
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 |
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其它 |
選件 |
屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動 |
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電力需求 |
220V/50HZ |
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