標(biāo)準(zhǔn)探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺
|產(chǎn)品概要
JKZC-DH系列探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺，大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測試。此系列探針臺設(shè)備配 置十分豐富，不僅具備龍門架結(jié)構(gòu)和卡盤的升降功能，還具備業(yè)內(nèi)的卡盤快速移動技術(shù)，可快速定位 樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離，同時也方便探針卡的使用。此設(shè)備在大型實驗室或者半導(dǎo)體工廠得到廣泛運用，配合對應(yīng)的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試,也可以實現(xiàn)搭載探針卡的測 試。
|技術(shù)特點
?卡盤可360度快速移動，便于快速定位樣品位置,提高測試效率；
?三段式可升降探針座平臺，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；
?加厚級剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計,的內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
詳細(xì)參數(shù)
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產(chǎn)品型號 技術(shù)參數(shù) |
JKZC-DH6 |
JKZC-DH8 |
JKZC-DH12 |
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探針臺本體 |
主體材料 |
航空鋁 |
航空鋁 |
航空鋁 |
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整機尺寸（mm） |
750L*550W*680H |
800L*580W*680H |
930L*700W*680H |
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重? |
75kg |
95kg |
150kg |
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卡盤大小 |
6" ,360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) |
8",360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) |
12；360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) |
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卡盤XY軸行程 |
6"6",精度 10um |
8"*8"，精度 10um |
12"*12"3m 度 10um |
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卡盤Z軸行程 |
快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米 |
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卡盤材質(zhì) |
不銹鋼鍍金，具備小的接觸電阻 |
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卡盤氣浮移動范圍 |
360度快速移動，便于快速定位，提高測試效率 |
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卡盤吸附方式 |
真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） |
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背電極測試功能 |
卡盤鍍金，電學(xué)懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 |
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其它功能 |
帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護，可升級 |
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針座平臺 |
材質(zhì) |
U型平臺，Q235鍍銀，帶接地端子 |
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大小 |
多可放置6個探針座 |
多可放置8個探針座 多可放置12個探針座 |
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三段式升降平臺 |
探針平臺可以快速升降，擁有5mm和300um兩檔，探針平臺可以上下微調(diào)， 行程25mm,升降精度gm。（使用探針卡的時候使用） |
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顯TH系統(tǒng) |
顯微鏡類型 |
體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) |
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倍率范圍 |
16X~200X/40X~280X/20X~4000X |
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顯微鏡行程 |
具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum |
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CCD成像系統(tǒng) |
2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 |
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探針座 |
種類 |
絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟型探針座 |
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X￥Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
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機械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
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夾具 |
漏電精度 |
同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA |
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接口形式 |
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 |
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其它 |
選件 |
屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動 |
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電力需求 |
220W50HZ |
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