自動橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀
型號:LT/SGC-1A
儀器參數
測量范圍1nm-300nm
測量Z小值≤1nm
入射角30°- 90°誤差≤0.1°
偏振器方位角讀數范圍0°- 180°
度盤刻度每格2度
游標Z小讀數0.05°
光學中心高度152
工作臺直徑φ70
外形尺寸730*230*290
主機重量20kg
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