電感測微儀的儀器校正技術(shù)

發(fā)布時(shí)間：2019-10-06瀏覽次數(shù)：1703返回列表

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對計(jì)量技術(shù)的要求越來越高，尤其是當(dāng)代宇航和天文等技術(shù)的發(fā)展，要求計(jì)量向納米技術(shù)發(fā)展，納米計(jì)量和標(biāo)定技術(shù)成為目前各學(xué)科必須解決的問題。因此外儀器計(jì)量部門都在研究和生產(chǎn)各種納米級準(zhǔn)確度的計(jì)量儀器，并探討其標(biāo)定和校正方法，以滿足科學(xué)技術(shù)發(fā)展的需要。近幾年來，各國相繼研制成功了各種納米量級的測微儀，它們包括激光干涉儀、電容測微儀和電感測微儀，這些測微儀雖然已經(jīng)在許多學(xué)科及部門得到了廣泛應(yīng)用，有的測微儀的準(zhǔn)確度到底如何?就目前的方法是無法進(jìn)行測定的。另外，還有一些微位移進(jìn)給器件，例如壓電陶瓷等，雖然應(yīng)用范圍很廣，但其非線性和位移準(zhǔn)確度如何?有時(shí)也沒有可靠的檢測手段。

一、基于有基準(zhǔn)的儀器校正技術(shù)

有基準(zhǔn)方法是傳統(tǒng)的對比儀器校正，此方法在儀器計(jì)量部門對各種新設(shè)備的標(biāo)定、舊設(shè)備的校正以及各個(gè)學(xué)科的實(shí)際工程技術(shù)測量中都得到了廣泛的應(yīng)用。

有基準(zhǔn)儀器校正法的基本原理是：對于任何被測量新的或在用過程中的檢測設(shè)備，為了確定其測量結(jié)果的可靠性，通常采用比被測量準(zhǔn)確度更高等級的檢測設(shè)備，準(zhǔn)確地標(biāo)定其在測量范圍內(nèi)的測量準(zhǔn)確度、分辨力、穩(wěn)定性等性能指標(biāo)。從該方法的原理看出，對于長度計(jì)量的位移傳感器的儀器校正技術(shù)，必須解決兩個(gè)關(guān)鍵性問題：一是具有更高等級準(zhǔn)確度、更高分辨力的測微系統(tǒng)；二是能夠提供足夠小的達(dá)到測微系統(tǒng)分辨力的微位移機(jī)構(gòu)。只有滿足了上述兩個(gè)條件，才能真正對測微系統(tǒng)的分辨力、準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性等性能指標(biāo)給予的評價(jià)。對于具有有效測量面積位移傳感器的測微系統(tǒng)，采用這種原理進(jìn)行標(biāo)定的方法主要有以下幾種：

1、小角度檢查儀(正弦尺)標(biāo)定方法

用小角度檢查儀和標(biāo)準(zhǔn)量塊對電容測微儀的標(biāo)定方法是80年代末期，儀器計(jì)量部門針對具有有效測量面積的電容和電感測微儀而制定的一種標(biāo)定方法，其具體的工作原理如圖1-1所示。

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