XRF光譜儀的使用注意事項(xiàng)： 
1、 為了保持儀器的良好外觀，需經(jīng)常對(duì)儀器表面做清潔作，用軟布擦拭灰塵。
2、 向樣品腔內(nèi)放樣品時(shí)，定要注意清潔，不可使樣品塵粒掉入其中，否則會(huì)污染X光管和探測(cè)器窗口，成測(cè)量失準(zhǔn)和探頭損壞。 
3、 樣品蓋需要用酒棉做好清潔作。 
4、為使儀器能長(zhǎng)期作正常，需定期對(duì)各項(xiàng)參數(shù)行測(cè)試，并行調(diào)整。
5、 儀器只允許經(jīng)培訓(xùn)的人員才能操作，其他人員律不能操作。 
6、 使用、保存和搬動(dòng)中，要特別小心，以免磕碰、損傷外表、損壞內(nèi)線路。 

XRF光譜儀的測(cè)試過(guò)程：
測(cè)試過(guò)程包括儀器的準(zhǔn)備、待測(cè)試樣品的制備上機(jī)以及行校準(zhǔn)，須有相應(yīng)的操作說(shuō)明。還要注意所使用儀器的局限性，例如有些型號(hào)的儀器對(duì)面積非常小或厚度較薄的樣品不能檢測(cè)或是不能準(zhǔn)確定量，對(duì)這種情況就要求操作者小心處理并要詳細(xì)記錄，以保證合理的解釋終測(cè)試結(jié)果。
測(cè)試前需要對(duì)儀器行優(yōu)化，儀器性能的確認(rèn)：每種分析物的靈敏度、光譜分辨率、檢出限、適用的面積大小、樣品制備及測(cè)試的可重現(xiàn)性、校準(zhǔn)方法的準(zhǔn)確性。
靈敏度是區(qū)別不同儀器的性能和確保采用的校準(zhǔn)是否有意義的重要標(biāo)；光譜分辨率是確保數(shù)據(jù)收集和校準(zhǔn)時(shí)被分析物和干擾譜線能被正確的區(qū)分并處理的重要標(biāo)；檢出限即為三倍空白重復(fù)測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)偏差（不少于7次測(cè)量，置信區(qū)間為95％）；適用的面積大小決定了實(shí)際的待測(cè)試分是什么；XRF光譜儀測(cè)試過(guò)程中，樣品制備及測(cè)試的可重現(xiàn)性是證明測(cè)試方法可控的個(gè)重要參數(shù)。