真空度測(cè)試常見(jiàn)的有破壞性測(cè)試方法和無(wú)損檢測(cè)方法。

破壞性測(cè)試方法常見(jiàn)的是采用針頭刺入容器頂空，通過(guò)壓力（真空度）傳感器探測(cè)獲取真空度，該測(cè)試方法在一定程度上會(huì)受到管路中空氣的影響，可以用于真空度的粗略抽查，在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯。應(yīng)用是用于粗略的進(jìn)行密閉容器完整性測(cè)試（CCIT）評(píng)估，方法是將高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留樣半年到1年，然后觀察瓶?jī)?nèi)真空度。如果里面還有一定真空度，即里面的壓力是微負(fù)壓，說(shuō)明瓶子是不漏的；相反，如果里面的壓力是常壓，說(shuō)明瓶子是漏的。

如果是用于工藝的優(yōu)化和標(biāo)準(zhǔn)的制定，通常會(huì)采用無(wú)損的真空度測(cè)試方法。無(wú)損的真空度測(cè)試方法常見(jiàn)的是激光法（即調(diào)頻光譜法（FMS）），它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會(huì)在一定波段下有激光吸收，并且會(huì)得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質(zhì)的含量成正比，其中水汽的激光吸收?qǐng)D譜中的峰寬（波峰和波谷之間的橫向距離）和頂空總壓力成正比。采用激光法能夠?qū)θ萜鬟M(jìn)行無(wú)損真空度測(cè)試。激光法對(duì)真空度的小檢出限大約為7mbar。

測(cè)試原理

真空度測(cè)試儀采用磁控放電法進(jìn)行測(cè)量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的距離，施加電場(chǎng)脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。對(duì)于不同的真空管型號(hào)(管型)，由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開(kāi)距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下，離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電流后，就可以通過(guò)查詢(xún)?cè)摴苄偷碾x子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。

在常規(guī)磁控放電測(cè)試滅弧室的真空度時(shí)，為了提高其測(cè)試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺線管線管內(nèi)。而使用磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室，這樣就不必拆卸滅弧室。而采用單片微機(jī)進(jìn)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理，提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。

真空度測(cè)試儀將滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距，施加脈沖高壓，將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)，這樣在脈沖磁場(chǎng)的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng)。對(duì)于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同，當(dāng)測(cè)知離子電流后，通過(guò)離子電流一真空度曲線，由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成真空度的計(jì)算，并顯示真空度值。

采用磁控放電法進(jìn)行測(cè)量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的距離，施加電場(chǎng)脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)，離子電流的大小也不相同。