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四桿質譜儀的指標
發布時間：2017-09-13瀏覽次數：2135返回列表
NGZL-203四質譜計_四桿質譜儀功能介紹：
四質譜計是在高真空條件下，離子源的電子轟擊氣體分子使其離化。離子進入四過濾器按不同質荷比分離，采集離子流，放大后進行數據處理，獲得相應的質譜數據。四質譜計可安裝在使用者的高真空設備上進行殘氣分析，亦可配備適當的高真空系統和進樣裝置作為的分析儀器使用。離子流采集的常規結構為法拉弟筒 / 通道倍增器復合式（即 FC/CEM ）。離子流放大器的輸入高阻設為10M Ω ，1G Ω，100G Ω 三擋，采用電子倍增器方式時一般選用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。儀器控制與數據處理系統適用于WindowsXP或 Windows2000，儀器提供模擬譜圖，棒狀譜圖和多達10個離子的多離子監測譜圖。數據系統的接口界面由80C 196單片機（16位）以及 A/D、D/A 等構成， RS232 串口與電腦通訊實現儀器的控制與數據處理。儀器安裝方便，操作簡單，四質譜計應用與真空科學、電子、半導體工業、石油化工的催化研究等多種領域。另外，本儀器可以派生為儀器，如，已用于計量作為鑒定分子漏孔的氦四質譜計。
四桿質譜儀指標：
范圍：1-100u，1-200u，1-300u
靈敏度：1×10-1A/Pa (對 N--2 ，帶CEM)
分辨率：△m＜1（ 10% 谷）
峰位穩定性： ±0.4u/4h
掃描速度： 100ms-30s/u
檢測器： FC，FC/CEM，或FC/MCP（FC-法拉弟筒， CEM 通道倍增器MCP-微通道板）
工作壓強：1×10-2Pa
烘烤溫度：300 ℃
接口法蘭： CF50，CF63
電子單元尺寸：240×150×150mm
四探頭伸入真空腔尺寸：
1-100u：φ 70
1-300u：φ 70
